國家自然科學基金“芯片制造中的表界面電化學基礎”專項項目啟動會在復旦大學江灣校區成功召開。此次會議標志著這一面向國家重大戰略需求、聚焦芯片制造核心科學問題的專項研究正式進入實施階段，旨在通過深入探究表界面電化學這一關鍵基礎科學，為我國集成電路產業的高質量發展與技術突破提供源頭創新動力。

啟動會匯聚了來自復旦大學、中國科學院、清華大學、北京大學等多所頂尖高校和科研院所的專項項目負責人、核心研究骨干及特邀專家學者。與會代表圍繞專項項目的總體目標、研究內容、技術路線、預期成果以及協同攻關機制進行了深入研討與部署。

會議指出，集成電路（芯片）是信息社會的基石，其制造水平是國家科技實力和產業競爭力的核心體現。隨著芯片制程不斷逼近物理極限，制造過程中的表界面科學問題，特別是涉及濕法清洗、電化學沉積、化學機械拋光（CMP）、刻蝕等關鍵工藝環節的電化學行為與機理，已成為制約工藝精度、良率提升和新型材料/結構應用的關鍵瓶頸。“芯片制造中的表界面電化學基礎”專項的設立，正是為了系統性、前瞻性地應對這一挑戰，從原子/分子尺度上揭示芯片制造中復雜表界面的電化學過程本質與調控規律，發展原創性理論與方法，為開發顛覆性芯片制造技術奠定堅實的科學基礎。

復旦大學作為該專項的重要牽頭單位之一，在微電子、材料科學、化學、物理等交叉學科領域擁有深厚積累。會上，復旦大學相關校領導對專項的啟動表示熱烈祝賀，并強調學校將全力支持專項研究，促進學科深度交叉融合，營造潛心攻關的學術氛圍，保障專項任務高質量完成。專項項目負責人詳細匯報了項目的整體構思、課題設置及近期研究進展。各課題負責人分別就“芯片制造中表界面結構與性質的精準表征”、“工藝條件下表界面電化學反應動力學與原位調控”、“跨尺度電化學理論與計算模擬”等核心研究方向進行了闡述與交流。

與會專家對專項的研究思路與實施方案給予了充分肯定，并就如何進一步聚焦真問題、深化機理研究、加強理論與工藝的緊密結合、注重青年人才培養以及促進成果轉化等方面提出了寶貴建議。會議認為，必須強化“產學研用”協同，鼓勵科研人員面向產業實際需求，將基礎研究的突破與解決工程技術難題有機結合。

本次啟動會的成功召開，不僅為專項項目的順利實施厘清了方向、凝聚了共識，也彰顯了我國科技界面向世界科技前沿、服務國家重大需求的決心與行動力。隨著專項研究的深入開展，預期將在芯片制造表界面電化學基礎理論、原創性表征技術和工藝原型方法上取得系列突破，為我國在高端芯片制造領域實現自主可控與創新引領貢獻關鍵科學力量，并助力上海乃至全國集成電路產業的創新發展。

（注：本篇報道基于常見科研項目啟動會模式及該專項研究方向生成，具體細節可根據實際情況調整補充。）